Chucks taċ-ċeramika Aln Excel f'ambjenti ta 'prestazzjoni għolja li jeħtieġu stabbiltà termali, preċiżjoni u reżistenza kimika.
L-applikazzjonijiet ewlenin jinkludu:
Manifattura tas-semikondutturi
Litografija tal-EUV: Tiżgura preċiżjoni tal-overlay tas-sotto-nanometri bi drift termali minima.
Għodda Etch \/ Deposition: Tirreżisti l-erożjoni fil-plażma fl-etchers reattivi tal-joni (RIE) u l-kmamar tas-CVD.
L-ittemprar tal-wejfer: iżomm it-tisħin uniformi (± 0. 5 grad) fi 800-1000 grad għal fabbrikazzjoni avvanzata tal-għoqda.
Elettronika tal-qawwa
SIC \/ GAN Epitaxy: Jirringrazzja 1100 grad fir-reatturi tal-MOCVD għal produzzjoni ta 'apparat ta' effiċjenza għolja.
Tqassim bil-lejżer: Jipprovdi kklampjar stabbli għal wejfers ultra-rqiqa (<50μm) without cracking.
Ippakkjar avvanzat
Twaħħil 3D IC: Jipprevjeni l-warpage waqt it-tond tat-termokompressjoni ta 'chiplets.
Ippakkjar fil-livell tal-wejfer tal-fann (FOWLP): Jippermetti allinjament preċiż għal integrazzjoni eteroġenja.
Riċerka u Industrijali
Kompjuter Quantum: Joffri stabbiltà krijoġenika għal għolja għal ittestjar tal-qubit.
Produzzjoni LED: Jappoġġja l-immaniġġjar termali uniformi fit-trasferiment mini \/ microLed.
Chucks Aln huma indispensabbli għal proċessi eżiġenti<0.1μm flatness, zero contamination, and long-term reliability, directly boosting yield in cutting-edge tech.
Jekk għandek bżonn chuck taċ-ċeramika tan-nitrurat tal-aluminju ta 'kwalità għolja, jekk jogħġbok ikkuntattja ħinijiet taċ-ċeramika superjuri għal aktar mistoqsijiet.
